반도체 제조 공정과 특수가스의 역할
1. 반도체 제조 공정과 특수가스의 역할 일반적으로 특수가스라 함은 산소, 질소, 아르곤, 탄산, 수소 등 보통의 산업용 가스와 달리 특수한 목적으로 사용되는 가스를 의미하는데 반도체용 가스, 표준가스, 희귀 가스, 고순도 및 초고순도 가스, 혼합가스 등이 특수가스의 범주에 포함된다. 이러한 특수가스는 혼합비율에 따라 거의 무한대에 가까운 종을 만들어낼 수 있는 혼합가스를 제외시킨다 해도 어느 정도 표준화되어 있는 제품만 3백 여종에 이르고 있다. 그러나 수많은 특수가스 중에서 우리나라는 물론 전 세계 산업용 가스 업계로부터 가장 뜨거운 관심을 받고 있는 가스는 역시 반도체용 특수가스이다. 가격 측면에선 단연 정상을 차지하고 있지만 수요와 공급에 한계가 있는 제논, 크립톤, 헬륨 등 희귀 가스들과 달리 ..
2022. 8. 26.
특수가스 취급기술 및 유지관리 실무 (3)
지금까지 살펴본, 가스의 분류체계와 독성에 대한 지식을 가지고, 반도체 공정에 많이 사용되는 대표적인 극독성이며, 가연성을 가진 독성 금속 수소화물(Toxic Metal Hydrides) - 알진, 디보란, 사수소화 게르마늄, 셀렌화수소, 포스핀에 대하여 알아보자 본 장에서 언급된 내용들과 도표의 수치들은 Air Products사에서 제공하는 Safetygram 34 Toxic Metal Hydrides에서 인용한 내용임을 알려둔다. 4-1. 일반 특징 이 제품들은 금속 수소화물 군에 속한다. 수소화물은 전기적으로 양성인 수소 화합물이다. 알진, 디보란, 사수소화 게르마늄, 셀렌화수소 그리고 포스핀은 높은 독성 특성 때문에 독성을 가진 금속 수소화물 군이라 한다. 본 장에서 언급하는 가스의 적용 범위는 ..
2022. 8. 23.
