특수가스 취급기술 및 유지관리 실무 (3)
지금까지 살펴본, 가스의 분류체계와 독성에 대한 지식을 가지고, 반도체 공정에 많이 사용되는 대표적인 극독성이며, 가연성을 가진 독성 금속 수소화물(Toxic Metal Hydrides) - 알진, 디보란, 사수소화 게르마늄, 셀렌화수소, 포스핀에 대하여 알아보자 본 장에서 언급된 내용들과 도표의 수치들은 Air Products사에서 제공하는 Safetygram 34 Toxic Metal Hydrides에서 인용한 내용임을 알려둔다. 4-1. 일반 특징 이 제품들은 금속 수소화물 군에 속한다. 수소화물은 전기적으로 양성인 수소 화합물이다. 알진, 디보란, 사수소화 게르마늄, 셀렌화수소 그리고 포스핀은 높은 독성 특성 때문에 독성을 가진 금속 수소화물 군이라 한다. 본 장에서 언급하는 가스의 적용 범위는 ..
2022. 8. 23.
