특수가스 취급기술 및 유지관리 실무 (3)
지금까지 살펴본, 가스의 분류체계와 독성에 대한 지식을 가지고, 반도체 공정에 많이 사용되는 대표적인 극독성이며, 가연성을 가진 독성 금속 수소화물(Toxic Metal Hydrides) - 알진, 디보란, 사수소화 게르마늄, 셀렌화수소, 포스핀에 대하여 알아보자 본 장에서 언급된 내용들과 도표의 수치들은 Air Products사에서 제공하는 Safetygram 34 Toxic Metal Hydrides에서 인용한 내용임을 알려둔다. 4-1. 일반 특징 이 제품들은 금속 수소화물 군에 속한다. 수소화물은 전기적으로 양성인 수소 화합물이다. 알진, 디보란, 사수소화 게르마늄, 셀렌화수소 그리고 포스핀은 높은 독성 특성 때문에 독성을 가진 금속 수소화물 군이라 한다. 본 장에서 언급하는 가스의 적용 범위는 ..
2022. 8. 23.
특수가스 취급기술 및 유지관리 실무 (1)
목차 1. 가스의 분류 및 정의 2. 가스의 유해성 분류 및 제품별 특징 3. 특수가스 실린더의 보관 및 사용 4. 독성을 가진 금속 수소화물 5. 특수가스 저장 및 공급시설의 안전관리 6. 독성가스 제독설비 1. 가스의 분류 및 정의 일반적으로 가스를 상업적으로 분류할 때, 산업용 가스와 특수가스로 구분한다. 산업용 가스는 대기 중의 주요 구성 성분인 산소, 질소, 아르곤 및 미량 구성 요소인 이산화탄소, 헬륨, 수소 등을 의미하며, 특수가스는 일상 대기 중에서 존재하나 구성비율이 매우 희박한 가스(네온, 제논, 크립톤등), 일상 자연환경에서는 존재하지 않는 삼불화질소, 실란 등과, 자연 상태에서는 존재하지 않는 특정 구성비율을 가진 가스와, 초고순도로 정제된 산업용 가스들로 구성되어 있다. 특히 반도..
2022. 8. 22.
